RY 型独立机械手
项目 | 单位 |
RY-1000 |
RY-1200 |
RY-1500 |
移送步距(X轴) | mm | 2000 |
2400 |
3000 |
上下行程(z轴 ) | mm |
50 |
80 |
80 |
负重 | Kg |
10 |
20 |
20 |
最大冲次 | SPM | 10-14 | 10-15 | 10-15 |
移送精度 | mm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |